(19)
(11) EP 1 436 830 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.07.2004  Patentblatt  2004/29

(21) Anmeldenummer: 02769904.0

(22) Anmeldetag:  05.09.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/20, H01L 21/60
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003282
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/032377 (17.04.2003 Gazette  2003/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 05.10.2001 DE 10149140

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • REICHENBACH, Frank
    72764 Reutlingen (DE)
  • FISCHER, Frank
    72810 Gomaringen (DE)
  • HAUSNER, Ralf
    72768 Reutlingen (DE)
  • HAAG, Frieder
    72827 Wannweil (DE)
  • GRAF, Eckhard
    72810 Gomaringen (DE)
  • LUTZ, Markus
    Palo Alto, CA 94306 (US)

   


(54) VERFAHREN ZUR VERBINDUNG EINER SILIZIUMPLATTE MIT EINER WEITEREN PLATTE