(19)
(11) EP 1 438 255 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
21.07.2004  Patentblatt  2004/30

(21) Anmeldenummer: 02774294.9

(22) Anmeldetag:  04.09.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 3/00, G01P 15/08
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003252
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/031317 (17.04.2003 Gazette  2003/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 04.10.2001 DE 10148858

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHELLIN, Ralf
    81477 München (DE)
  • FEHRENBACH, Michael
    72766 Mittelstadt (DE)
  • KLINK, Michael
    72764 Reutlingen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHER SENSOR MIT SELBSTTESTFUNKTION UND OPTIMIERUNGSVERFAHREN