(19)
(11) EP 1 438 444 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.12.2003

(43) Veröffentlichungstag:
21.07.2004  Patentblatt  2004/30

(21) Anmeldenummer: 02782949.8

(22) Anmeldetag:  18.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/26
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/011657
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/035928 (01.05.2003 Gazette  2003/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 25.10.2001 DE 10152055

(71) Anmelder: NTTF GmbH
53619 Rheinbreitbach (DE)

(72) Erfinder:
  • GRABOWY, Udo, Heinrich
    53881 Emskirchen-Flamersheim (DE)
  • BUSCH, Heinz, Werner
    53639 Königswinter-Thomasberg (DE)

(74) Vertreter: Dr. Weitzel & Partner 
Friedenstrasse 10
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) MECHANISCH UND THERMODYNAMISCH STABILE AMORPHE KOHLENSTOFFSCHICHTEN FÜR TEMPERATUREMPFINDLICHE OBERFLÄCHEN