(19)
(11) EP 1 438 742 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.01.2004

(43) Veröffentlichungstag:
21.07.2004  Patentblatt  2004/30

(21) Anmeldenummer: 02776786.2

(22) Anmeldetag:  07.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/66
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003781
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/034482 (24.04.2003 Gazette  2003/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 09.10.2001 DE 10149773

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • LOTTHOLZ, Stefan
    72762 Reutlingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM SELEKTIEREN FEHLERHAFTER DIELEKTRIKA EINES HALBLEITERBAUELEMENTES