(19)
(11) EP 1 438 750 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.07.2004  Patentblatt  2004/30

(21) Anmeldenummer: 02782737.7

(22) Anmeldetag:  21.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/146, H01L 31/0216, H01L 31/0376
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003964
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/038901 (08.05.2003 Gazette  2003/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 26.10.2001 DE 10152325

(71) Anmelder: STMicroelectronics N.V.
1118 BH Schiphol Airport Amsterdam (NL)

(72) Erfinder:
  • SCHOLZ, Markus
    01445 Radebeul (DE)
  • RIEVE, Peter
    D-51570 Windeck-Dattenfeld (DE)
  • WAGNER, Michael
    01900 Bretnig-Hauswalde (DE)
  • LULE, Tarek
    01109 Dresden (DE)
  • SEIBEL, Konstantin
    57074 Siegen (DE)
  • PRIMA, Jens
    57078 Siegen (DE)
  • BENTHIEN, Stephan
    01099 Dresden (DE)
  • SOMMER, Michael
    01099 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Hudler, Frank, Dipl.-Ing. 
PatentanwälteLippert, Stachow, Schmidt & PartnerKrenkelstrasse 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES TFA-BILDSENSORS SOWIE TFA-BILDSENSOR