(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
(30) |
Priorität: |
02.11.2001 DE 10153870
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(71) |
Anmelder: Leybold Vakuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- FIEDLER, Andreas
50374 Erftstadt (DE)
- FLICK, Gerd
50321 Brühl (DE)
- BERGERT, Klaus
53840 Troisdorf (DE)
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(74) |
Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. |
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Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE) |
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