(19)
(11) EP 1 441 128 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
01.09.2004  Patentblatt  2004/36

(43) Veröffentlichungstag A2:
28.07.2004  Patentblatt  2004/31

(21) Anmeldenummer: 03028333.7

(22) Anmeldetag:  10.12.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 27/00, F04D 19/04, F04C 23/00
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 24.01.2003 DE 10302764

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Conrad, Armin
    35745 Herborn (DE)
  • Fahrenbach, Peter
    35619 Braunfels (DE)
  • Mädler, Matthias
    35759 Driedorf (DE)

   


(54) Vakuumpumpsystem


(57) Vakuumpumpsystem zur Förderung leichter Gase mit wenigstens einer Hochvakuumpumpe, bei der an einer Ausstoßseite der wenigstens einen Hochvakuumpumpe wenigstens eine Zwischenpumpe direkt und mit geringem Leitwertverlust angeschlossen ist.






Recherchenbericht