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(11) | EP 1 441 128 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Vakuumpumpsystem |
(57) Vakuumpumpsystem zur Förderung leichter Gase mit wenigstens einer Hochvakuumpumpe,
bei der an einer Ausstoßseite der wenigstens einen Hochvakuumpumpe wenigstens eine
Zwischenpumpe direkt und mit geringem Leitwertverlust angeschlossen ist. |