(19)
(11) EP 1 441 976 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.01.2004

(43) Veröffentlichungstag:
04.08.2004  Patentblatt  2004/32

(21) Anmeldenummer: 02772043.2

(22) Anmeldetag:  05.09.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7B81B 3/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003283
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/037782 (08.05.2003 Gazette  2003/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 20.10.2001 DE 10152254

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • LAERMER, Franz
    71263 Weil der Stadt (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN