(19)
(11) EP 1 442 329 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
04.08.2004  Patentblatt  2004/32

(21) Anmeldenummer: 02782948.0

(22) Anmeldetag:  18.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 7/00, G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/011656
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/036359 (01.05.2003 Gazette  2003/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 20.10.2001 DE 10151919

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • PETASCH, Thomas
    73434 Aalen (DE)
  • MUENKER, Hartmut
    57271 Hilchenbach-Dahlbruch (DE)
  • GELLRICH, Bernhard
    73434 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Werner, Dr.-Ing. 
Lorenz & Kollegen,Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) OPTISCHES ELEMENT MIT EINER OPTISCHEN ACHSE