| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
|
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR |
|
Benannte Erstreckungsstaaten: |
|
AL LT LV MK RO SI |
| (30) |
Priorität: |
16.11.2001 DE 10156336
|
| (71) |
Anmelder: |
|
- ALD Vacuum Technologies AG
63450 Hanau (DE)
- GFE GESELLSCHAFT FÜR ELEKTROMETALLURGIE MBH
D-90431 Nürnberg (DE)
- GKSS-Forschungszentrum Geesthacht GmbH
21502 Geesthacht (DE)
|
|
| (72) |
Erfinder: |
|
- BLUM, Matthias
63654 Büdingen (DE)
- JARCZYK, Georg
63538 Grosskrotzenburg (DE)
- CHATTERJEE, Anita
90429 Nürnberg (DE)
- FÜRWITT, Willy
90768 Fürth (DE)
- GÜTHER, Volker
90559 Burgthann (DE)
- CLEMENS, Helmut
21029 Hamburg (DE)
- DANKER, Heinz
21502 Geesthacht (DE)
- GERLING, Rainer
21465 Reinbek (DE)
- SASSE, Friedhelm
21447 Handorf (DE)
- SCHIMANSKY, Frank-Peter
21502 Geesthacht (DE)
|
| (74) |
Vertreter: Hübner, Gerd, Dipl.-Phys. et al |
|
Rau, Schneck & HübnerPatentanwälteKönigstrasse 2
90402 Nürnberg
90402 Nürnberg (DE) |
|
