(19)
(11) EP 1 444 441 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.08.2004  Patentblatt  2004/33

(21) Anmeldenummer: 02790311.1

(22) Anmeldetag:  30.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04C 18/16, F04C 23/00, F04C 29/04, F04C 18/08, F04C 29/10
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/012087
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/042542 (22.05.2003 Gazette  2003/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 15.11.2001 DE 10156179

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • KRIEHN, Hartmut
    50997 Köln (DE)
  • ROFALL, Klaus
    50996 Köln (DE)
  • BEHLING, Manfred
    50968 Köln (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) TEMPERIERUGSVERFAHREN EINER SCHRAUBENVAKUUMPUMPE