(19)

(11)

EP 1 444 720 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 08.01.2004 (43) Veröffentlichungstag: 11.08.2004  Patentblatt  2004/33 (21) Anmeldenummer: 02783015.7 (22) Anmeldetag:  26.10.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/011986 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/038866 (08.05.2003 Gazette  2003/19)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 31.10.2001 DE 10153225 (71) Anmelder: Rietmann, Werner 8273 Triboltingen (CH)	(72) Erfinder: Rietmann, Werner 8273 Triboltingen (CH) (74) Vertreter: Hiebsch, Gerhard F., Dipl.-Ing. et al Patentanwälte,Dipl.-Ing. G.F. Hiebsch,Dipl.-Ing. N. Behrmann,Postfach 464 78204 Singen 78204 Singen (DE)