(19)
(11) EP 1 446 837 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
25.03.2004

(43) Veröffentlichungstag:
18.08.2004  Patentblatt  2004/34

(21) Anmeldenummer: 02782712.0

(22) Anmeldetag:  11.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003870
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/043086 (22.05.2003 Gazette  2003/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 10.11.2001 DE 10155373

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • FEILER, Wolfgang
    72766 Reutlingen (DE)
  • QU, Ning
    72770 Reutlingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERFASSEN VON STRÖMEN IN EINEM HALBLEITERBAUELEMENT MIT EINEM MULTI-ZELLEN-STROMSENSOR