(19)
(11) EP 1 448 808 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.11.2003

(43) Veröffentlichungstag:
25.08.2004  Patentblatt  2004/35

(21) Anmeldenummer: 02798256.0

(22) Anmeldetag:  29.11.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 20/06, H01L 31/18
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/004457
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/048404 (12.06.2003 Gazette  2003/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 30.11.2001 DE 10160504

(71) Anmelder: Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH
14109 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • MUFFLER, Hans-Jürgen
    10789 Berlin (DE)
  • BÄR, Marcus
    39288 Burg (DE)
  • MÜLLER, Felix
    10317 Berlin (DE)
  • FISCHER, Christian-Herbert
    14169 Berlin (DE)
  • LUX-STEINER, Martha Christina
    14163 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Rudolph, Margit et al
Gemeinsamer Patentservice,Hausvogteiplatz 5-7
10117 Berlin
10117 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DÜNNER, SCHWER LÖSLICHER BESCHICHTUNGEN