(19)
(11) EP 1 449 244 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.01.2004

(43) Veröffentlichungstag:
25.08.2004  Patentblatt  2004/35

(21) Anmeldenummer: 02787365.2

(22) Anmeldetag:  16.11.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/321, H01L 21/768
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/004237
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/046972 (05.06.2003 Gazette  2003/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 26.11.2001 DE 10157627

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • KLUTH, Patrick
    40227 Düsseldorf (DE)
  • ZHAO, Quing-Tai
    52428 Jülich (DE)
  • MANTL, Siegfried
    52428 Jülich (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT