(19)
(11) EP 1 449 246 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.02.2004

(43) Veröffentlichungstag:
25.08.2004  Patentblatt  2004/35

(21) Anmeldenummer: 02799043.1

(22) Anmeldetag:  15.11.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/762, H01L 21/764
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/012838
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/046977 (05.06.2003 Gazette  2003/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 27.11.2001 DE 10157785

(71) Anmelder: Austriamicrosystems AG
8141 Unterpremstätten (AT)

(72) Erfinder:
  • SCHREMS, Martin
    A-8063 Eggersdorf b. Graz (AT)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) ISOLATIONSGRABEN FUR EINE INTEGRIERTE SCHALTUNG UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG