(19)

(11)

EP 1 451 609 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 15.01.2004 (43) Veröffentlichungstag: 01.09.2004  Patentblatt  2004/36 (21) Anmeldenummer: 02792827.4 (22) Anmeldetag:  26.11.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01S 13/87 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/013474 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/046600 (05.06.2003 Gazette  2003/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR (30) Priorität: 27.11.2001 DE 10159226 (71) Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics/Institut für innovative Mikroelektronik 15236 Frankfurt an der Oder (DE)	(72) Erfinder: DIETRICH, Burkhart 15234 Frankfurt (DE) KRAEMER, Rolf 15517 Fürstenwalde (DE) (74) Vertreter: Eckey, Ludger  Eisenführ, Speiser & PartnerAnna-Louisa-Karsch-Strasse 2 10178 Berlin 10178 Berlin (DE)