ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIE......FI....CY..TRBGCZEE....SK................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01451817A120040901EP02779423.92002092620040512DeDeDe1015080920011015DE20040901200436200409012004367 7G 11B 7/26 A 7C 23C 14/50 B 7B 65G 47/90 BdeSUBSTRATHALTERenSUBSTRATE-HOLDERfrPORTE-SUBSTRATSSteag HamaTech AG02340021STG-E18971/3290HamaTech AG, SteagFerdinand-von-Steinbeis-Ring 1075447 SternenfelsDEKREUDER, GerdGronewaldstrasse 10441836 HückelhovenDEKAUSSEN, Hans, GüntherTurmstrasse 1452459 IndenDEMICHELS, FrankSchillerstrasse 4975438 KnittlingenDEWagner & Geyer00101901Gewürzmühlstrasse 5D-80538 MünchenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSESKTREP200201078320020926DeWO200303441920030424200317