(19)

(11)

EP 1 454 345 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.09.2004  Patentblatt  2004/37 (21) Anmeldenummer: 02792906.6 (22) Anmeldetag:  05.12.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/02, H01L 29/92, H01L 21/768, H01G 4/12, H01G 4/08 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/013804 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/054934 (03.07.2003 Gazette  2003/27)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO (30) Priorität: 13.12.2001 DE 10161286 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: KOLLER, Klaus 82110 Germering (DE) KÖRNER, Heinrich 83052 Bruckmühl (DE) SCHRENK, Michael 86911 Diessen am Ammersee (DE) (74) Vertreter: Ginzel, Christian  Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20 80069 München 80069 München (DE)