(19)
(11) EP 1 454 355 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
04.09.2003

(43) Veröffentlichungstag:
08.09.2004  Patentblatt  2004/37

(21) Anmeldenummer: 02779171.4

(22) Anmeldetag:  23.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/768, H01L 23/522, C01B 31/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/003998
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/050868 (19.06.2003 Gazette  2003/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 13.12.2001 DE 10161312

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KREUPL, Franz
    80802 München (DE)
  • HÖNLEIN, Wolfgang
    82008 Unterhaching (DE)
  • STEINHÖGL, Werner
    80538 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Hans-Martin, Dipl.-Ing. 
Patent- und RechtsanwälteViering, Jentschura & Partner,Steindorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SCHICHT-ANORDNUNG UND SCHICHT-ANORDNUNG