(19)
(11) EP 1 454 366 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
06.11.2003

(43) Veröffentlichungstag:
08.09.2004  Patentblatt  2004/37

(21) Anmeldenummer: 02799027.4

(22) Anmeldetag:  12.12.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/058, H01L 51/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/004563
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/050886 (19.06.2003 Gazette  2003/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 13.12.2001 DE 10161303

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ROGLER, Wolfgang
    91096 Möhrendorf (DE)
  • BRABEC, Christoph
    91054 Erlangen (DE)

   


(54) DÜNNSCHICHTENERGIESYSTEM