(19)
(11)
EP 1 454 366 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
06.11.2003
(43)
Veröffentlichungstag:
08.09.2004
Patentblatt 2004/37
(21)
Anmeldenummer:
02799027.4
(22)
Anmeldetag:
12.12.2002
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
H01L
31/058
,
H01L
51/20
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/004563
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/050886
(
19.06.2003
Gazette 2003/25)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
(30)
Priorität:
13.12.2001
DE 10161303
(71)
Anmelder:
Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
ROGLER, Wolfgang
91096 Möhrendorf (DE)
BRABEC, Christoph
91054 Erlangen (DE)
(54)
DÜNNSCHICHTENERGIESYSTEM