VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES BAUELEMENTS MIT EINER BEWEGLICHEN STRUKTUR - Patent 1456116

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EP 1 456 116 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	15.09.2004 Patentblatt 2004/38

(21)	Anmeldenummer: 02795183.9

(22)	Anmeldetag: 12.12.2002

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: B81C 1/00, B81B 3/00

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2002/014193

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2003/053844 (03.07.2003 Gazette 2003/27)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

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Priorität:

21.12.2001 DE 10163506

(71)	Anmelder: Infineon Technologies AG
	81669 München (DE)

(72)	Erfinder:
	BARZEN, Stefan 81735 München (DE) DEHE, Alfons 85375 Neufahrn (DE)

(74)	Vertreter: Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing. et al
	Patentanwälte Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler,Postfach 246 82043 Pullach bei München 82043 Pullach bei München (DE)

(54)	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES BAUELEMENTS MIT EINER BEWEGLICHEN STRUKTUR