(19)

(11)

EP 1 456 705 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 13.11.2003 (43) Veröffentlichungstag: 15.09.2004  Patentblatt  2004/38 (21) Anmeldenummer: 02747468.3 (22) Anmeldetag:  19.07.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 17/08, G03F 7/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/008037 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/050587 (19.06.2003 Gazette  2003/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 10.12.2001 US 339275 P (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: SHAFER, David, R. Fairfield, CT 06430 (US) EPPLE, Alexander 73431 Aalen (DE) ULRICH, Wilhelm 73434 Aalen (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart 70035 Stuttgart (DE)