(19)

(11)

EP 1 456 876 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 06.11.2003 (43) Veröffentlichungstag: 15.09.2004  Patentblatt  2004/38 (21) Anmeldenummer: 02791622.0 (22) Anmeldetag:  10.12.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/336, H01L 27/115, H01L 21/8246, H01L 29/792 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/004523 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/052812 (26.06.2003 Gazette  2003/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO (30) Priorität: 18.12.2001 DE 10162261 18.12.2001 US 22654 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: LAU, Frank 83034 Bad Aibling (DE) TAKACS, Dezsö 81737 München (DE) WILLER, Josef 85521 Riemerling (DE) (74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer  Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)