(19)
(11) EP 1 456 880 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
25.09.2003

(43) Veröffentlichungstag:
15.09.2004  Patentblatt  2004/38

(21) Anmeldenummer: 02791626.1

(22) Anmeldetag:  11.12.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 23/31, H01L 21/56
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/004529
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/054957 (03.07.2003 Gazette  2003/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 20.12.2001 DE 10163084

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • REISS, Martin
    93047 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Schäfer, Horst, Dr. 
Schweiger & PartnerPatent- und RechtsanwälteKarl-Theodor-Strasse 69
80803 München
80803 München (DE)

   


(54) ELEKTRONISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG