(19)

(11)

EP 1 457 099 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.09.2004  Patentblatt  2004/38 (21) Anmeldenummer: 02806025.9 (22) Anmeldetag:  23.12.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H05K 3/04, H05K 3/20, H01L 21/48 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/014740 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/059026 (17.07.2003 Gazette  2003/29)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO (30) Priorität: 14.01.2002 DE 10201091 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V. 80636 München (DE)	(72) Erfinder: KÖNIG, Martin 81475 München (DE) BOCK, Karlheinz 82110 Germering (DE) (74) Vertreter: Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing. et al Patentanwälte Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler,Postfach 246 82043 Pullach bei München 82043 Pullach bei München (DE)