| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO |
| (30) |
Priorität: |
08.12.2001 DE 10160356
24.06.2002 DE 10228204
26.06.2002 DE 10228626
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| (71) |
Anmelder: Nanogate Technologies GmbH |
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66121 Saarbrücken (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- BURGARD, Detlef
66333 Völklingen (DE)
- NASS, Rüdiger
66292 Riegelsberg (DE)
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| (74) |
Vertreter: Pietruk, Claus Peter, Dipl.-Phys. et al |
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Heinrich-Lilienfein-Weg 5
76229 Karlsruhe
76229 Karlsruhe (DE) |
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