(19)
(11) EP 1 459 134 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.09.2004  Patentblatt  2004/39

(21) Anmeldenummer: 02805274.4

(22) Anmeldetag:  02.10.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 5/30, G02B 1/02, G02B 1/08
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/011030
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/054631 (03.07.2003 Gazette  2003/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 20.12.2001 DE 10162796

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • MECKING, Birgit
    73434 Aalen (DE)
  • GRUNER, Toralf
    89551 Königsbronn (DE)
  • KOHL, Alexander
    73430 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Schwanhäusser, Gernot 
Ostertag & PartnerPatentanwälteEibenweg 10
70597 Stuttgart
70597 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR OPTIMIERUNG DER ABBILDUNGSEIGENSCHAFTEN VON MINDESTENS ZWEI OPTISCHEN ELEMENTEN SOWIE PHOTOLITHOGRAPHISCHES FERTIGUNGSVERFAHREN