(19)
(11) EP 1 459 362 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
08.04.2004

(43) Veröffentlichungstag:
22.09.2004  Patentblatt  2004/39

(21) Anmeldenummer: 02790389.7

(22) Anmeldetag:  16.11.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/20, H01L 33/00, C30B 25/02, H01L 21/762
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/012869
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/054929 (03.07.2003 Gazette  2003/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 21.12.2001 DE 10163718
19.02.2002 DE 10206753
30.04.2002 DE 10219223

(71) Anmelder: Aixtron AG
52072 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • JÜRGENSEN, Holger
    52072 Aachen (DE)
  • KROST, Alois
    13587 Berlin (DE)
  • DADGAR, Armin
    10963 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk, Dr. et al
c/o Rieder & Partner,Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN VON III-V-HALBLEITERSCHICHTEN AUF EINEM NICHT-III-V-SUBSTRAT