(19)

(11)

EP 1 464 075 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 02.10.2003 (43) Veröffentlichungstag: 06.10.2004  Patentblatt  2004/41 (21) Anmeldenummer: 02796697.7 (22) Anmeldetag:  20.12.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/014632 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/058686 (17.07.2003 Gazette  2003/29)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR (30) Priorität: 09.01.2002 DE 10200525 (71) Anmelder: Mattson Wet Products Gmbh 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: SPEH, Ulrich 71144 Steinenbronn (DE) NÄGELE, Eberhard 71101 Schoenaich (DE) (74) Vertreter: Wagner & Geyer  Gewürzmühlstrasse 5 D-80538 München D-80538 München (DE)