(19)
(11) EP 1 466 152 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.10.2004  Patentblatt  2004/42

(21) Anmeldenummer: 03702405.6

(22) Anmeldetag:  09.01.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01M 3/22, G01M 3/32, G01M 3/20, A63B 19/02, G01M 3/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/000120
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/060455 (24.07.2003 Gazette  2003/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 18.01.2002 DE 10201757

(71) Anmelder: Inficon GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • NOTHHELFER, Markus
    97877 Wertheim-Dörlesberg (DE)
  • SEILER, Andreas
    97877 Wertheim-Dörlesberg (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) LECKSUCHVERFAHREN UND -EINRICHTUNG