(19)
(11) EP 1 466 164 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.10.2004  Patentblatt  2004/42

(21) Anmeldenummer: 02796517.7

(22) Anmeldetag:  21.12.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 21/55
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/004717
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/056308 (10.07.2003 Gazette  2003/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 21.12.2001 DE 10163657

(71) Anmelder: Gedig, Erk
48149 Münster (DE)

(72) Erfinder:
  • Gedig, Erk
    48149 Münster (DE)

(74) Vertreter: Hahn, Christian, Dr. 
Waldstrasse 51
79585 Steinen
79585 Steinen (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG DÜNNER SCHICHTEN