(19)

(11)

EP 1 466 351 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.10.2004  Patentblatt  2004/42 (21) Anmeldenummer: 03701495.8 (22) Anmeldetag:  08.01.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/033 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/000087 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/060966 (24.07.2003 Gazette  2003/30)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR (30) Priorität: 15.01.2002 DE 10201178 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: EFFERENN, Dirk 01099 Dresden (DE) MOLL, Hans-Peter 01277 Dresden (DE) (74) Vertreter: Beck, Josef  c/o Patentanwaltskanzlei Wilhelm & BeckNymphenburger Strasse 139 80636 München 80636 München (DE)