(19)
(11) EP 1 466 362 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.08.2003

(43) Veröffentlichungstag:
13.10.2004  Patentblatt  2004/42

(21) Anmeldenummer: 02787961.8

(22) Anmeldetag:  23.12.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/84
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/014741
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/058677 (17.07.2003 Gazette  2003/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO

(30) Priorität: 14.01.2002 DE 10201091

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KÖNIG, Martin
    81475 München (DE)
  • BOCK, Karlheinz
    82110 Germering (DE)

(74) Vertreter: Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing. et al
Patentanwälte Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler,Postfach 246
82043 Pullach bei München
82043 Pullach bei München (DE)

   


(54) SYSTEM ZUR FERTIGUNG VON ELEKTRISCHEN UND INTEGRIERTEN SCHALTKREISEN