(19)

(11)

EP 1 468 333 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 22.01.2004 (43) Veröffentlichungstag: 20.10.2004  Patentblatt  2004/43 (21) Anmeldenummer: 02795052.6 (22) Anmeldetag:  20.12.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/004755 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/062926 (31.07.2003 Gazette  2003/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO (30) Priorität: 24.01.2002 DE 10203454 (71) Anmelder: JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: DRESSLER, Thomas 07749 Jena (DE) (74) Vertreter: Bertram, Helmut et al Patentanwälte Oehmke & Kollegen,Neugasse 13 07743 Jena 07743 Jena (DE)