(19)
(11) EP 1 468 436 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.10.2004  Patentblatt  2004/43

(21) Anmeldenummer: 02796487.3

(22) Anmeldetag:  23.12.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01H 59/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH2002/000722
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/060940 (24.07.2003 Gazette  2003/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO

(30) Priorität: 18.01.2002 US 1662
24.04.2002 EP 02405334

(71) Anmelder: ABB RESEARCH LTD.
8050 Zürich (CH)

(72) Erfinder:
  • STRÜMPLER, Ralf
    CH-5412 Gebenstorf (CH)

(74) Vertreter: ABB Patent Attorneys 
c/o ABB Schweiz AG,Intellectual Property (CH-LC/IP),Brown Boveri Strasse 6
5400 Baden
5400 Baden (CH)

   


(54) MIKRO-ELEKTROMECHANISCHES SYSTEM UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG