(19)

(11)

EP 1 468 442 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 15.01.2004 (43) Veröffentlichungstag: 20.10.2004  Patentblatt  2004/43 (21) Anmeldenummer: 03702510.3 (22) Anmeldetag:  23.01.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/000671 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/063210 (31.07.2003 Gazette  2003/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO (30) Priorität: 24.01.2002 DE 10202697 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: GOLLER, Klaus 01069 Dresden (DE) (74) Vertreter: Stöckeler, Ferdinand, Dipl.-Ing.  Schoppe, Zimmermann,Stöckeler & ZinklerPostfach 246 82043 Pullach bei München 82043 Pullach bei München (DE)