(19)
(11) EP 1 468 446 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.10.2004  Patentblatt  2004/43

(21) Anmeldenummer: 02804878.3

(22) Anmeldetag:  06.12.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/312
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/013834
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/052809 (26.06.2003 Gazette  2003/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO

(30) Priorität: 19.12.2001 DE 10162443

(71) Anmelder: Bayer Aktiengesellschaft
51368 Leverkusen (DE)

(72) Erfinder:
  • KIRCHMEYER, Stephan
    51375 Leverkusen (DE)
  • GAISER, Detlef
    51061 Köln (DE)
  • KRAUS, Harald
    51379 Leverkusen (DE)
  • MERKER, Udo
    50679 Köln (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DIELEKTRISCHEN SCHICHTEN UNTER VERWENDUNG MULTIFUNKTIONELLER CARBOSILANE