(19)
(11) EP 1 468 454 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.10.2004  Patentblatt  2004/43

(21) Anmeldenummer: 02787381.9

(22) Anmeldetag:  19.11.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 29/866, H01L 21/329
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/004255
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/061015 (24.07.2003 Gazette  2003/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

(30) Priorität: 15.01.2002 DE 10201162
16.08.2002 DE 10237409

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • DEL ROCIO MARTIN LOPEZ, Maria
    72764 Reutlingen (DE)
  • SPITZ, Richard
    72766 Reutlingen (DE)
  • GOERLACH, Alfred
    72127 Kusterdingen (DE)
  • WILL, Barbara
    71083 Herrenberg (DE)

   


(54) HALBLEITERANORDNUNG MIT EINEM PN-ÜBERGANG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG