ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIE......FI....CY..TR............................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01470579A120041027EP02711271.32002013120040831EnEnEn20041027200444200410272004447 7H 01L 21/316 AdePGO LÖSUNGEN FÜR DIE HERSTELLUNG VON DÜNNEN PGO FILMEN MITTELS SPIN-COATINGSenPGO SOLUTIONS FOR THE PREPARATION OF PGO THIN FILMS VIA SPIN COATINGfrSOLUTIONS DE PGO UTILISEES DANS LA PREPARATION DE FILMS MINCES DE PGO PAR REVETEMENT PAR CENTRIFUGATIONSOLUTIONS DE PGO UTILISEES DANS LA PREPARATION DE FILMS MINCES DE PGO PAR REVETEMENT PAR CENTRIFUGATIONSHARP KABUSHIKI KAISHA00260716REJ/J.46087 EP22-22 Nagaike-choAbeno-kuOsaka 545-8522JPZHUANG, Wei-Wei18806 SE 18th StreetVancouver, WA 98683USMAA, Jer-shen1511 SE Solomon LoopVancouver, WA 98683USZHANG, Fengyan16804 SE 32nd StreetVancouver, WA 98683USHSU, Sheng Teng2216 NW Trout CourtCamas, WA 98607USJacob, Reuben Elliset al00079972R G C Jenkins & Co.,26 Caxton StreetLondon SW1H 0RJGBATBECHCYDEDKESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSETRJP200200080720020131EnWO200306543820030807200332