ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESI....FI....CY..TRBGCZEEHU..SK................*JDIM360 (Ver 1.5 21 Nov 2005) - 2999001/01472184KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFTB8B120060503W10000000073deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP03704217.3200301172004081820041004dedede1020177220020118DE1021712520020417DE2006050320061820041103200445200601112006022005070820060503200618C01B 33/033 20060101AFI20030726BHEP deVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMenMETHOD FOR PRODUCING SILICONfrPROCEDE DE PRODUCTION DE SILICIUMUS-A- 4 102 765US-A- 4 382 071US-A- 4 753 783AUNER, NorbertMarie-Curie-Strasse 1160439 Frankfurt am MainDEPower Avenue07233450Dn-28074215 Harding Rd. Suite 1202Nashville TN 37205USHauck, Graalfs, Wehnert, Döring, Siemons00100554Mörikestrasse 1840474 DüsseldorfDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEITLILUMCNLPTSESISKTRDE200300011520030117deWO200305981420030724200330