(19)
(11) EP 1 472 564 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.11.2004  Patentblatt  2004/45

(21) Anmeldenummer: 03737275.2

(22) Anmeldetag:  27.01.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 27/64, G02B 17/08, G02B 27/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/000770
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/067308 (14.08.2003 Gazette  2003/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO

(30) Priorität: 05.02.2002 DE 10204465

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • KOHL, Alexander
    73430 Aalen (DE)
  • HOLDERER, Hubert
    89551 Königsbronn (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Werner, Dr.-Ing. 
Lorenz & Kollegen,Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR KORREKTUR VON SCHWINGUNGSINDUZIERTEN ABBILDUNGSFEHLERN IN EINEM OBJEKTIV