(19)
(11) EP 1 472 721 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
03.11.2004  Patentblatt  2004/45

(21) Anmeldenummer: 03704257.9

(22) Anmeldetag:  27.01.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/28, H01L 29/788
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000216
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/067640 (14.08.2003 Gazette  2003/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 07.02.2002 DE 10205079

(71) Anmelder: Infineon Technologies Flash GmbH & Co. KG.
01099 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • POLEI, Veronika
    01109 Dresden (DE)
  • WILLER, Josef
    85521 Riemerling (DE)

(74) Vertreter: Epping, Hermann, Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbHRidlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND AUFBAU EINER SPEICHERZELLE