(19)
(11) EP 1 472 722 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
16.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
03.11.2004  Patentblatt  2004/45

(21) Anmeldenummer: 03737237.2

(22) Anmeldetag:  23.01.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/28, H01L 29/792, H01L 21/8246, H01L 27/115
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000183
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/067639 (14.08.2003 Gazette  2003/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 06.02.2002 DE 10204873

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFMANN, Franz
    80995 München (DE)
  • LANDGRAF, Erhard
    81543 München (DE)
  • LUYKEN, Hannes
    81825 München (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR SPEICHERZELLE