(19)
(11) EP 1 472 727 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.11.2003

(43) Veröffentlichungstag:
03.11.2004  Patentblatt  2004/45

(21) Anmeldenummer: 03706288.2

(22) Anmeldetag:  06.02.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 23/31, H01L 21/56, G01D 11/24, B81B 7/00, H01L 31/0203, G01L 9/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000334
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/067657 (14.08.2003 Gazette  2003/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 07.02.2002 DE 10205127

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • THEUSS, Horst
    93173 Wenzenbach (DE)

(74) Vertreter: Schäfer, Horst, Dr. 
Schweiger & PartnerPatent- und RechtsanwälteKarl-Theodor-Strasse 69
80803 München
80803 München (DE)

   


(54) HALBLEITERBAUTEIL MIT SENSOR- BZW. AKTOROBERFLÄCHE UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG