(19)

(11)

EP 1 472 742 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 11.12.2003 (43) Veröffentlichungstag: 03.11.2004  Patentblatt  2004/45 (21) Anmeldenummer: 03702339.7 (22) Anmeldetag:  17.01.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/792 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/000135 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/067668 (14.08.2003 Gazette  2003/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR (30) Priorität: 06.02.2002 DE 10204868 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: DEPPE, Joachim 01099 Dresden (DE) KLEINT, Christoph 01129 Dresden (DE) LUDWIG, Christoph 01465 Langebrück (DE) (74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer  Patentanwaltsgesellschaft mbHPostfach 20 07 34 80007 München 80007 München (DE)