(19)
(11) EP 1 474 726 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
16.09.2004

(43) Veröffentlichungstag:
10.11.2004  Patentblatt  2004/46

(21) Anmeldenummer: 03737317.2

(22) Anmeldetag:  05.02.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/001146
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/067334 (14.08.2003 Gazette  2003/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO

(30) Priorität: 08.02.2002 DE 10206061

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHUSTER, Karl-Heinz
    89551 Königsbronn (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner 
Postfach 10 40 36
70035 Stuttgart
70035 Stuttgart (DE)

   


(54) POLARISATIONSOPTIMIERTES BELEUCHTUNGSSYSTEM