(19)
(11)
EP 1 474 726 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
16.09.2004
(43)
Veröffentlichungstag:
10.11.2004
Patentblatt 2004/46
(21)
Anmeldenummer:
03737317.2
(22)
Anmeldetag:
05.02.2003
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
G03F
7/20
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/001146
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/067334
(
14.08.2003
Gazette 2003/33)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO
(30)
Priorität:
08.02.2002
DE 10206061
(71)
Anmelder:
Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)
(72)
Erfinder:
SCHUSTER, Karl-Heinz
89551 Königsbronn (DE)
(74)
Vertreter:
Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner
Postfach 10 40 36
70035 Stuttgart
70035 Stuttgart (DE)
(54)
POLARISATIONSOPTIMIERTES BELEUCHTUNGSSYSTEM