(19)

(11)

EP 1 474 833 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 10.11.2004  Patentblatt  2004/46 (21) Anmeldenummer: 03739428.5 (22) Anmeldetag:  23.01.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/94 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/000185 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/069679 (21.08.2003 Gazette  2003/34)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO (30) Priorität: 15.02.2002 DE 10206375 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: MAGET, Judith 82024 Taufkirchen (DE) (74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer  Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)