(19)
(11) EP 1 479 105 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.11.2004  Patentblatt  2004/48

(21) Anmeldenummer: 03706311.2

(22) Anmeldetag:  12.02.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/8247, H01L 27/105
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000406
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/073499 (04.09.2003 Gazette  2003/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 25.02.2002 DE 10207980

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GRAHAM, Andrew
    81547 München (DE)
  • HOFMANN, Franz
    80995 München (DE)
  • SPECHT, Michael
    80799 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) FLOATING-GATE-SPEICHERZELLE, FLOATING-GATE-SPEICHERANORDNUNG, SCHALTKREIS-ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER FLOATING-GATE-SPEICHERZELLE