(19)

(11)

EP 1 481 286 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 13.11.2003 (43) Veröffentlichungstag: 01.12.2004  Patentblatt  2004/49 (21) Anmeldenummer: 03706529.9 (22) Anmeldetag:  19.02.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/001651 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/075097 (12.09.2003 Gazette  2003/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO (30) Priorität: 01.03.2002 US 360845 P 13.05.2002 DE 10221243 28.06.2002 DE 10229249 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: SCHUSTER, Karl-Heinz 89551 Königsbronn (DE) (74) Vertreter: Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr.  Carl Zeiss,Patentabteilung 73446 Oberkochen 73446 Oberkochen (DE)